ALD原子層沉積設(shè)備廠家
發(fā)表時(shí)間：2023-08-27
ALD原子層沉積設(shè)備廠家有以下幾個(gè)：
* 日本AGUS
* PICOSUN：提供原子層沉積系統(tǒng)ALD PICOSUN ALD R-200系列和ALD R-300 Pro。
* 深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司。
* 德國(guó)Sentech。
* 美國(guó)泛林（Lam）。
* 應(yīng)用材料（AMAT）。
* Eugenus Veeco。
* Beneq（已被中車(chē)收購(gòu)）。
* Leadmicro（江蘇微導(dǎo)）。
* 北方華創(chuàng)。
* 理想能源。
* Oxford Instruments。
* FORGE NANO。
* Solaytec NCD。
除上述外，ald原子層沉積設(shè)備廠家還有ASM International、TOKYO ELECTRON等。
